安装方便,可用托架独立安装或现在的模块式过滤组合元件AF及AFM直接安装。
比传统的精密减压阀IR200输出流量大;比传统的精密减压阀IR200溢流流量大。
压力设定精确;调节螺钉的齿间距由传统的0. 75mm改为0. 5mm。
标准型也带面板安装;可在洁净房使用,主要应用在调压精度高、灵敏度高、重复精度较好的场合。
该产品的先导排气口与主排气口是分开的;还具有体积小,重量轻等特点。
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